二手 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9180164 待售

KLA/TENCOR 6400 Surfscan是一种先进的晶圆测试和计量系统，旨在测量、限定和调试半导体行业中的晶圆过程。它是用于水平和垂直应用以及前后表面成像的多功能工具。标准版的Surfscan 6400配备了多种计量能力，都是为了提高生产晶片的产量以及提高质量而设计的。这包括用于测量表面地形和特征形状的光学散射法，以及用于测量薄膜厚度和随时间变化的三维光学干涉法。此外，光学散射法还具有垂直扫描仪和高分辨率相机，可用于识别和表征各种表面缺陷。Surfscan 6400还提供了多种自动化报告功能,可帮助缩短分析时间并提高工作效率。这些报告可用于将晶片与指定标准进行比较，并为一个生产批次提供全面的"健康图"。还可以使用高级自动化审查软件来加快散射测量和干涉测量检查数据的审查过程，这可以大大减少设置时间和溷淆。Surfscan 6400具有几项新的增强功能,可扩展晶圆计量的性能。其中包括同时测量表面地形和入射角变化的双光散射法；湿蚀刻剖面图，用于测量屏障层和其他蚀刻工艺参数；棱镜剖面图，可以测量透明电介质中的层厚度；以及智能模块设计,可通过更小的占用空间提供更高的吞吐量。Surfscan 6400还提供了自定义工具设置的功能,以适应多种基板格式,如凹凸检查、步高检查和轮廓扫描。它还具有卓越的扫描速度和较低的设置时间,同时使用户能够在一小部分时间内准确高效地识别流程问题。总体而言,KLA 6400 Surfscan是一个出色的晶圆测试和计量系统,可为各种应用程序提供高速、可靠的数据和高级定制功能。这使用户能够快速准确地诊断流程问题,以提高晶圆性能并减少停机时间。