二手 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9202541 待售

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KLA / TENCOR 6400 Surfscan
已售出
ID: 9202541
Defect inspection system.
KLA/TENCOR 6400 Surfscan是一款晶圆测试和计量设备,设计用于广泛的计量应用。这个功能强大的系统旨在拍摄晶圆的高分辨率图像,为工程师提供对其表面的深入、详细的分析。KLA 6400 Surfscan允许同时测试几种不同类型的测试应用,如粗糙度、厚度测量、表面缺陷、颗粒污染和表面地形。该单元使用自动聚焦和阶段校正,以确保在每个晶圆测试中精确的可重复测量。6400有一台10倍的光学机器,可以检查高达915毫米的大型晶片,分辨率降至1微米。它还具有可调节的3D聚焦机制,以改进自动聚焦。6400具有集成的视觉感测工具和高速晶圆处理程序,可自动执行缺陷分析、模式识别和其他需要自动检查的测量。它还具有多种图像调整和增强功能,如各种检测算法、频谱分析、特征提取、自相关和一系列后处理工具。该资产配备了一个完全集成的缺陷管理数据库,可以存储缺陷数据,有助于分析和缺陷调试。它还可以分析来自每个晶片的多个数据集,包括多个横截面,提供对样本的全面观察。TENCOR 6400 Surfscan是市场上最先进的计量系统之一。它专为晶圆计量而设计,在测试中提供无与伦比的可靠性和灵活性。此模型非常适合晶圆制造商,因为它允许他们以更高的效率测试产品,并具有准确的结果,同时仍保持较高的安全性。6400 Surfscan是晶圆测试领域的宝贵工具,为工程师提供详细可靠的数据。
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