二手 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9277849 待售

KLA/TENCOR 6400 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，旨在提供高精度的测量和准确的结果。它采用了最新的自动光刻对准技术，能够测量到0.2nm的分辨率。该系统的工作面积为16x200mm,最多可容纳四个光栅以同时测量整个晶圆。它是蚀刻前和蚀刻后计量测量的理想选择，可以对缺陷和晶圆质量进行深入分析。KLA 6400 Surfscan是一种高度自动化的工具,非常适合缺陷分析和计量应用。它以最小的操作员工作量提供快速和准确的测量。该单元使用先进的光学技术来测量光圈和轮廓，并使用创新的快速扫描运动模块来最小化扫描时间。该机还采用集成晶圆控制工具，以确保晶圆工作流程一致。除了自动化功能外,该资产还具有创新的直观图形用户界面。这使得即使是最缺乏经验的用户，操作也变得简单易行。所有测量都存储在一个专用的数据区域中,这使得以后可以轻松检索以进行数据分析。TENCOR 6400 Surfscan还提供了IO/Data端口,该端口允许将测量值传输到其他设备以进行进一步分析。6400 Surfscan是用于缺陷检测和计量应用的可靠、精确的工具。它具有先进的光学设计、精确的测量和易于使用的设计，是自动化测试和计量的绝佳选择。该模型旨在以最小的操作员干预来提供高精度的结果，同时也确保晶圆工作流的一致性。