二手 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9358232 待售

KLA/TENCOR 6400 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，用于评估质量并在集成电路表面上进行各种自动化测试。该系统旨在提供与各种材料、格式和设备类型的最大兼容性。来自KLA的KLA 6400 Surfscan单元提供三种主要操作模式："主动扫描"、"待机监控"和"激光静音"。主动扫描模式用于提供有关表面缺陷的详细信息,而"待机监控"用于持续的后台测试,提供所有晶圆内容和设备尺寸的最佳检测吞吐量。激光静音模式用于延长测试时间，无需维持连续激光束。该机在缺陷定位和审查、表面地形和高级模式分析等方面具有多种计量能力。它的"模式过滤器"是一套软件工具,旨在利用该工具的大分辨率扫描,从而产生高缺陷检测灵敏度和细化缺陷计数的能力。TENCOR 6400 Surfscan还具有多种成像算法。这些算法结合起来执行高度精确的地形测量和图像分析，从而为评估表面特性提供了强大的工具。资产还提供了高级跟踪功能,用户可以在总体"趋势"分析中查看单个缺陷及其位置的测量结果。自动校准例程嵌入在模型中,以确保快速、可靠和可重复的测量。6400 Surfscan是一款非常可靠的设备，具有机械先进的激光冲击防护（LSP）系统和精确稳定的显微镜级。据报道，这种装置可以轻松地处理各种基板，从2英寸圆形到12.5英寸方形，并提供从纳米级到微米级的广泛动态测量。总体而言,KLA/TENCOR 6400 Surfscan是一款用途广泛、功能强大的晶圆测试和计量机器,旨在实现最大的兼容性和准确性。它提供了多种成像和测量功能,以及精确稳定的阶段和先进的LSP工具,以提高准确性和可靠性。