二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #192511 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，能够以高速、精确、灵活和可重复性来测量和分析表面拓扑。该系统利用先进的扫描和成像技术来检测微观表面缺陷，并对当前生产环境中存在的表面和缺陷特性进行最详细的分析。KLA 6420 Surfscan采用独特的高分辨率3D-based成像设备,能够分析任何材料,无论是硅、玻璃还是用于制造集成电路的任何其他设备。3 D成像机生成的轮廓用于精确测量表面拓扑，将表面缺陷与地形背景隔离，计算阶梯高度、表面粗糙度、沟槽宽度等测量结果。TENCOR 6420 Surfscan还实现了最先进的阶段子系统。具体来说,它由精确的直线轴承、真正的垂直冲程和计算机控制的级组成,这些级允许在x、y和z轴上精确定位样品级。使用内置校准软件,该工具通过确保正确跟踪和比较收集的数据以进行复制,从而实现最佳模式识别性能。另一个关键的资产组成部分是高级缺陷检测算法。该算法能够以极高的精度检测和分类缺陷，并能快速识别芯片相邻区域之间的细微地形差异。借助6420 Surfscan模型，用户还可以利用3 D光学剖面仪，如偏振增强共聚焦显微镜，获得更精确的表面测量。此外,PROMETRIX 6420 Surfscan还为用户提供了流程数据的总体可视化和管理。高级数据分析工具,如缺陷分析引擎,可以自动检测和表征单个基板中的数千个缺陷,从而存储检查过程的全面报告。最后,KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan使用户能够确保最佳产品质量。该设备采用严格的质量控制方法,允许制造商在产品出现成本高昂的错误之前识别和消除缺陷。KLA 6420 Surfscan作为KLA的旗舰工具,是那些希望最大限度地提高质量控制能力的用户的理想选择。