二手 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293624109 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，设计用于描述半导体工业中扁平、独立晶圆和电路组件的特性。它能够精确地测量许多不同材料的表面拓扑和平坦度，包括硅、砷化氙和石英。KLA 6420 Surfscan系统由一个计量头、一个测试台以及各种硬件和软件选项组成，使其成为最通用的晶圆测试和计量系统之一。计量头安装在垂直级，由精密、无刷的万向节电机驱动。该单元还包括柔性光学镜面反射仪、干涉仪、X射线衍射仪、散射仪和X射线表面成像相机。这些元件可以测量表面的物理特性，包括表面粗糙度、平坦度、缺陷和其他拓扑细节，分辨率达到0.5纳米或更高。除了物理表面测量功能外,TENCOR 6420 Surfscan机器还提供多种软件选项。其中包括用于自动缺陷检测的多通道图像分析、用于表面表征和趋势监控的统计分析以及用于虚拟原型制作的交互式3D显示。此外,该工具可用于故障分析和产品评估,其高级软件可轻松比较来自多个站点的数据。6420 Surfscan资产是过程监控和生产改进开发的宝贵工具。其精确的测量功能使其非常适合高级质量控制应用,例如监视尺寸、表面缺陷和特征到特征的配准。它还能够生成各种格式的准确、详细的报告,使用户能够快速分析结果并做出明智的决策。总体而言,PROMETRIX 6420 Surfscan模型是一种功能极其强大的计量设备,能够以极高的精度和速度分析和报告准确的表面测量和趋势。它是希望确保其产品符合质量和可靠性标准的半导体制造商的理想选择。