二手 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293742067 待售

KLA/TENCOR 6420晶圆测试和计量设备是一套多功能的软件和基于硬件的平台，允许对半导体晶圆进行自动检查。这使制造商能够在制造过程中确保其产品的质量和完整性,并提高总体产量。KLA 6420系统由几个负责确保质量控制的要素组成。该单元包括一个4D 3001晶圆测量站，使用X等离子体检测来识别亚维度缺陷和污染物。该工作站还提供晶圆阵列对齐,用于创建覆盖测量以报告任何未对齐问题。该机还包括一个4D 3001检测站，使用近场扫描光学显微镜（NSOM）检查晶圆的地形。该站有八种内部控制的照明模式和多个传感器，以帮助识别缺陷。4D 3101映射工具使用宏缺陷审查来评估晶圆是否存在可能导致资产故障的污染。CDS 3001晶圆清洗模型使用粒子轰击技术清洗颗粒晶圆。Cleaner Checkstation使用四点测量程序来检查晶圆清洁过程之前、期间和之后的污染程度。除了基于软件和硬件的平台，TENCOR 6420还利用Quality Manager软件。Quality Manager是一种过程控制工具,允许制造商创建、实施和监视制造过程。此软件使用户能够减少可变性并增加晶圆功能。总体而言，6420是一种综合性设备，为半导体制造业的测试和计量提供了完整的解决方桉。它使用户能够创建质量控制协议、测量和分析晶片以及清洁晶片以减少污染。借助该系统，厂商可以提高产品产量，降低成本和生产时间，提高盈利能力。