二手 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293754476 待售

KLA/TENCOR 6420是为高效纳米级缺陷分析、表征和修复而设计的先进晶圆测试和计量设备。它具有一套集成的高级硬件和软件技术,可准确识别、定位和隔离晶片中200毫米以下的缺陷粒子。该系统由多个子系统组成,通常包括主机、数据采集硬件和软件、视觉系统以及缺陷分析和修复软件。主机可以是任何奔腾级PC，RAM最少512 MB。数据采集硬件和软件捕获测试结果,并提供高级缺陷大小、分析和隔离功能。视觉单元自动捕获每个晶片的照相图像，以提供任何检测到的缺陷的精确细节。缺陷分析和修复软件采用多种计量技术来自动检测、定量、定位和隔离晶圆上的缺陷。先进的光学机构保证了KLA 6420机器的可靠性和准确性，其中包括自动聚焦和非接触式检查，以调整光学器件的精确对准和颗粒尺寸。此外，该工具的光学器件还配备了两台数码自动对焦相机，用于创建晶圆的三维图像。TENCOR 6420资产上的缺陷分析和修复功能对平台上的晶圆进行原位成像，并自动进行缺陷隔离、分析和表征操作。该模型还包括高级计算算法，以确保准确的缺陷识别、定位和隔离。6420设备还包括一套综合的实用程序，如配方管理系统、缺陷跟踪单元、缺陷分类和定量分析功能、综合统计分析、文件存档功能等。此外,该机器还具有用于远程管理测试操作的高级作业管理工具。总体而言，KLA/TENCOR 6420是一种功能强大且可靠的晶圆测试和计量资产，旨在实现高精度和高精度。其集成的软硬件技术套件，结合先进的光学、视觉系统以及缺陷分析和修复功能，使得该模型成为高效高效的纳米级缺陷分析和表征的理想之选。