二手 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293758831 待售
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ID: 293758831
晶圆大小: 4"-8"
优质的: 1996
Non-patterned surface inspection system, 4"-8"
Defect sensitivity: 0.12 micron at 95% capture
Haze sensitivity: 0.02 PPM
Wavelength: 488 nm
Argon laser: 30 mw
PC Board
Blue laser
Spot size: 90 µm
Scan frequency: 170 Hz
Scan pitch: 10, 20, 40 µm
Throughput: 120/6" WPH
Single puck handling from single cassette or platform
XY Coordinates
CD ROM Writer
CIM: GEM / SECS
Operating system: Windows 98
1996 vintage.
KLA/TENCOR 6420晶圆测试和计量设备是一种全自动工具,自动化了在硅晶圆上优化和测试集成电路(IC)的任务。KLA 6420提供了快速、准确和可靠的方式来快速、准确地测试大量芯片。TENCOR 6420系统使用先进的光学和计算系统来测量大型晶片上测试芯片的尺寸、形状和方向的微小变化。它设计为用途广泛,允许计量和测试各种晶圆类型。该系统提供快速、精确和多用途的晶片采购,以准确、高效地评估芯片-具有快速的吞吐量和周转时间。该单元由光学头、舞台和控制器三个主要组件组成。光学头包含用于成像的各种光学元件,如照相机、镜头和发光二极管(LED)。借助这些组件,机器精确测量了测试芯片的尺寸、形状、方向等具体特点。该级是负责在晶片上精确定位测试芯片的另一个重要组成部分。它由一系列精密导轨和执行器组成,这些导轨和执行器可以在x、y和z轴上精确、快速地移动晶片。控制器是工具后面的大脑。它控制舞台、光头和数据采集软件的运动。它包含智能高效的强大软件,可以快速准确地测量大量测试芯片。6420工具还提供各种专门针对特定应用程序量身定制的软件包。这些软件包旨在提高整个测试过程的准确性和吞吐量。这些软件包还允许数据分析、统计过程控制以及允许用户优化测试过程的各种其他功能。KLA/TENCOR 6420晶圆测试和计量资产提供了一种快速、准确和可靠的方式来快速、准确地测试大量芯片。对于需要高质量芯片才能生产产品的半导体和电子制造商来说,这是一个必不可少的工具。通过自动化测试过程,企业可以提高运营吞吐量,降低测试成本,确保高质量的终端产品。
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