二手 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293766824 待售

KLA/TENCOR 6420晶圆测试和计量设备是世界领先的生产线-微型检测工具,有助于确保半导体器件符合要求的规格。它提供了高度精确、自动化的在线测量和检查、高速模式识别、用于参数筛选的电气计量以及用于过程分析的缺陷隔离和分类。KLA 6420晶圆测试和计量系统彻底改变了半导体制造商测试和监测制造过程的方式。该单元结合了检查和计量功能，在检查或计量点生成每个设备的图像以获取反馈。它支持多种工艺技术,包括光掩码、薄膜测量、层对层检查、缺陷分类、蚀刻过程监控、迭加、内存缺陷分析等等。自动化子系统确保了每个批次的正确对齐和识别,同时机器还提供了一个自动化整个检查过程的集成晶圆级测试。TENCOR 6420通过检测以前可能没有注意到的微妙缺陷,帮助提高生产产量和降低总体制造成本,从而提高产品质量和客户满意度。其精确测量和高精度提高了器件性能，提高了产量，提高了经济性能。该工具具有用户友好的界面，使设备制造商能够快速配置和定制测试和仪器设置，从而消除了繁琐的设置和校准时间。其高速特写测量能力为识别基本缺陷机理提供了详细的分析，可提供蚀刻过程控制、层对层检测、复杂薄膜测量、层迭缺陷分析和先进计量等方面的综合信息。6420上提供的高级图像分析技术有助于通过识别所有大小的特征（即使是预期大小的百分之十的特征）来减少错误调用。由于资产的多用途、多层次的边缘从动算法,线缘一致性也得以实现。这一切都有助于建立一个高度可靠的模型,从而提高生产率、降低成本并实现生产的全面改进。