二手 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293767201 待售

ID: 293767201
优质的: 1996
Automatic surface inspection system 1996 vintage.
KLA/TENCOR 6420是业界领先的晶圆测试和计量设备,旨在快速准确地测量半导体器件的特性。该系统结合了先进的光学、数字成像和触摸屏技术,为用户提供了一个全面的晶圆测试和分析平台。KLA 6420坚固的光学器件能够捕获晶圆表面特征的高分辨率图像,并支持测量和故障分析。晶圆可以测量到+/-2um(微米)的公差或更好的公差,从而为操作员提供确定设备性能的优越数据。TENCOR 6420的用户界面基于19英寸触摸屏显示屏,为计算机的运行提供直观的菜单驱动单元。除了标准控件外,该工具还具有可定制的用户菜单和拖放图像比较功能。凭借其强大的车载成像,6420允许用户检测晶圆表面上的亚微米缺陷,并相应方便维修。该单元包括一个高功率变焦和一个高分辨率能够成像晶片具有2um/像素或更少的线性分辨率。对于特定设备功能的高级分析,KLA/TENCOR 6420还集成了自动图像比较功能。此关键特征允许直接比较图像以进行微妙的更改或测量关键尺寸,从而使操作员具有更高的准确性。此图像比较功能还使用户能够轻松查看生产运行期间设备制造的进度,并确定可能影响性能的任何重大更改。对于晶片测试和计量操作,KLA 6420包括一个集成的粒子分析包,使操作员能够以不引人注目的精确度检测和量化晶片上的污染物。这一强大的功能提供了详细准确的颗粒数据,可用于验证工艺清洁度、控制法宝产量、监控产品质量。此外,TENCOR 6420还配有广泛的选项和附件,包括自动化晶圆级和自动化视觉系统。晶片级允许自动晶片加载、定位和定向,而视觉资产可用于实时检查晶片的表面特征。6420提供了先进晶圆测试和计量的综合平台,为用户提供尖端图像分析和粒子测量功能。KLA/TENCOR 6420凭借其直观的用户界面、高分辨率成像以及突破性的计量工具,为用户提供了一个用于高级晶圆测试和测量的强大工具。
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