二手 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293767210 待售

KLA/TENCOR 6420 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，设计用于半导体工业。它能够测试和测量晶片的光学和电性能，并为分析提供准确和可重复的数据。SurfScan 6420配备了两个主要组件-WaferOptics™激光光学扫描级和Scanpath™扫描控制器。该WaferOptics™是一个高速、稳定、线性的扫描阶段，旨在精确、重复地测量表面拓扑数据。其编码器分辨率为0.15微米，每轴可重复性± 0.01微米。Scanpath™扫描控制器包含用于解释曲面轮廓数据并将其转换为有意义的度量的专有算法。该系统能够产生非均匀性映射、性能映射、迭加结果和其他晶圆曲面数据等指标。该单元还包括几个附加组件，如Zoom Optics™模块，它提供了低压信号的扩展视图范围。还包括一台最初开发用于KLA 193nm和248nm系统的先进OPC机，允许精确的迭加校准和特征对准。该工具以"head-in-hand"模式运行，这意味着可以在晶圆保持装入资产的同时进行测量，允许用户在同一晶圆上进行多次测量，而不会损失定位或时间。在硬件和软件方面，KLA 6420 Surfscan配备了奔腾4处理器、Windows 7操作型号、双头显卡、16 GB RAM和32 GB硬盘。该设备还包括用于远程访问和与其他TENCOR系统通信的以太网连接。该设备与各种类型的客户软件和界面兼容，用于分析和自动化。最后，TENCOR 6420 Surfscan完全具备定量缺陷检测和迭加计量的能力。该设备利用先进的缺陷计量算法和光学成像技术，能够更灵敏度和准确性地检测和分类缺陷。与传统的成像和晶圆测试系统相比,这为用户带来了更多的信息,使他们能够做出更好、更高效的决策,从而影响他们的底线。