二手 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293767212 待售

ID: 293767212
晶圆大小: 8"
Automatic surface inspection system, 8".
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一种自动化、非接触式晶片测试和计量设备,旨在测量、分析和绘制各种晶片表面的结构特征。该系统为包括晶片级光刻、电阻率测量、缺陷分类、薄膜计量和MEMS晶片计量等应用提供了解决方桉。KLA 6420 Surfscan利用先进的成像技术,使设备能够精确测量和分析纳米级晶圆结构。该机器能够测量到0.5nm,并且具有高达8MHz的像素时钟速度。TENCOR 6420 Surfscan的16位数字成像阵列采用填充系数高达90%的8-MP CMOS图像传感器,实现了TENCOR 6420 Surfscan的特征检测功能。这使得数字成像的动态范围大大高于其他系统。6420 Surfscan除了具有成像能力外,还包括强大的图像处理算法,以启用晶圆缺陷检测。它具有用于检测低对比度特征的高级算法,可用于测量工艺参数。该工具能够识别50种特征类型并执行30项参数测试。这些特性允许快速准确的晶圆测量和缺陷识别。PROMETRIX 6420 Surfscan还具有高速数据采集资产,每小时最多可处理10,000个晶圆。此外,它的通信功能允许远程访问、控制和分析收集的数据。它的自动化视觉功能还能够快速识别、分析和报告缺陷特性和其他晶圆特性。总体而言,KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是晶圆测试和计量任务的理想工具。其先进的成像功能、自动化的视觉功能和高速数据采集模型使其成为计量、缺陷分析和光刻等应用的理想选择。其用户友好的界面和远程访问功能使其易于使用,并允许进行全面的分析和数据管理。
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