二手 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293776063 待售

KLA/TENCOR 6420 Surfscan是一种先进的晶圆测试和计量设备，为晶圆表面表征提供高精度测量。它是一种无损计量系统，能够在半导体和光掩模检测应用中实现高产率和优异的缺陷检测。该装置利用亮场共聚焦扫描显微镜（CSM）技术，在三个维度下测量半导体晶圆表面，分辨率低至0.125 µm。定制设计的x-y-z扫描仪可对晶片的整个区域进行高速扫描,通常为8 ″、12 ″或16 ″。对扫描仪的光学机械设计进行了优化，以最大程度地减少图像失真、噪声和漂移，使其成为精确、可重复测量的理想选择。它配备了彩色CCD和数字线路阵列传感器等高分辨率相机选项阵列。KLA 6420 Surfscan利用先进的溷合数字信号处理器,提供强大的计算体系结构以及专用的硬件和软件模块。专用的硬件和软件模块能够快速处理测试数据、检测缺陷以及测量缺陷分布。该工具还具有多种操作模式,使客户能够在其特定应用程序中使用多种类型的图像分析算法。数据采集是灵活的，使高采样率能够准确地表征子微米结构。6420还包括3D表面渲染和动画地形电影等高级可视化功能。这使客户能够创建可视化,清楚地显示缺陷和非均匀性的几何形状和大小。该资产还包括各种功能强大的缺陷识别和分析软件工具，使其成为一种通用的计量解决方桉。TENCOR 6420 Surfscan为高精度晶圆测试和计量提供了功能强大、可靠且用户友好的解决方桉。凭借其先进的CSM技术、高分辨率相机选项和数字信号处理器,该型号实现了快速准确的缺陷检测以及高度详细的晶圆表面特性。它还具有先进的可视化功能和广泛的软件工具,使其成为真正全面的晶圆测试和计量设备。