二手 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293777614 待售

KLA/TENCOR 6420 Surfscan是一种用于高容量晶圆工艺和屈服可靠性的晶圆测试和计量设备。该系统既提供高速、有力的测量，又自动化从芯片到晶圆再到统计分析的整个测试过程。KLA 6420 Surfscan是KLA/TENCOR系列晶圆测试系统中的最新产品,能够向各种晶圆类型提供精确的无损检测测量。TENCOR 6420 Surfscan利用线性阵列技术检测过程缺陷，如晶圆表面的粒子和粒子相关缺陷。它配备了集成的后表面相机，用于检测晶圆后表面的粒子。为了精确检测缺陷，6420采用了TENCOR专利的光学表面计量技术，利用AlphaTestTMTM测量算法优化了粒子与周围环境的对比度。此外,6420 Surfscan还提供多种功能,包括采样率控制、图像质量控制和粒子顶点。KLA/TENCOR 6420 Surfscan旨在满足半导体晶圆加工中出现的大容量需求。它具有快速、精确和适应各种晶圆类型的特性,并具有用于从三维特征捕获详细尺寸信息的轮廓特征。此特征用于测量形状特征,如高度和曲率。为确保数据准确，KLA 6420 Surfscan还使用自己的统计分析过程对一个轮廓进行分析，使其能够确定晶圆表面什么是正常的或不均匀的。TENCOR 6420 Surfscan的探测单元最大限度地降低了检查时晶片损坏的风险。对晶片进行多次扫描，以确保对整个晶片进行准确的测量。此外,该机器还提供各种缺陷审查和分类功能,从而能够快速识别和分类现场的缺陷。这有助于快速识别流程问题并加快决策速度。6420 Surfscan是半导体制造实验室的必备产品,因为它具有强大的准确性和可靠性。KLA/TENCOR 6420 Surfscan以其快速的测量、快速的缺陷审查和分类过程,为生产晶圆测试提供了最可靠的晶圆测试和计量方法之一。