二手 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #9180714 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan平台是一种多合一、高精度的晶片测试和计量设备，用于表征半导体晶片的电性能和地形特征。它旨在帮助提高流程产量、提高流程控制并确保设备性能。KLA 6420 Surfscan系统构建在模块化平台上,需要一个复杂的闭环原位测量单元。该仪器集光学计量、非接触式电气测量、晶圆检测于一体。它同时测量晶片上多达5个位点的电性能和晶片地形。TENCOR 6420 Surfscan机由KLA InSight技术提供动力，这是一个综合了扫描电子显微镜、共聚焦显微镜、定量表面计量和电气测量的计量平台。该技术提供高分辨率、全面的测量，量化晶圆的电性能和表面形态。该工具还能够在晶圆上的多个位置同时进行测量。利用Prometric 6420晶圆模块对电性能进行原位电测量。此模块能够在晶片上进行非接触式低力原位电气测量,直径甚至可达4英寸。该模块可以测量晶片上的高频和低频信号，以识别电荷放电电压、电流通路、表面电阻率、介电常数、泄漏和电容等电气参数。6420 Surfscan的光学计量能力在晶圆上提供精确精确的地形和表面剖面。本模块使用一套专有的光源和精密光学器件来精确测量表面粗糙度、表面纹理和晶圆厚度。它还能够对晶圆的表面和高度轮廓执行高功率和低功率计量扫描。集成的光学和电气晶片检查扫描为用户提供有关晶片中任何异常或缺陷的详细数据。资产的视觉缺陷分析对晶圆表面进行了完整的270度自动检查，以查找任何异常。污染物或缺陷可以在过程中进行识别、分类和跟踪。TENCOR PROMETRIX 6420 Surfscan平台是一种通用的晶圆测试和计量模型,能够提供准确、全面的电气和计量分析。它使制造商能够确保其晶圆的正确电气性能和地形特征,最终提高工艺产量和设备性能。