二手 KLA / TENCOR 6420 #293609510 待售

KLA/TENCOR 6420是一种下一代晶圆测试和计量设备，设计用于在整个晶圆表面提供完整的非接触维数检查，提高精度。该系统针对大批量生产性能进行了优化，支持最新的晶圆直径。它具有专有的经过校准的成像检测器,可提供真正的串联地形成像,从而实现高度精确的工艺产量分析。KLA 6420采用模块化设计,简化了安装和维护。它具有强大的单面访问平台,与传统的双面访问系统相比,它减少了占用空间要求。可选的交流电动级可确保卓越的动态对准,并允许更高的加速度和更快的吞吐量。该级具有先进的光学编码器单元和纳米分辨率，在整个晶圆中提供高度精确和可重现的对准和测量值。TENCOR 6420还融合了高效成像机，其中包括先进的智能传感器前端和数字信号处理。这可以实现快速、准确、全场的图像捕获,分辨率降至亚微米级。成像工具提供双同时对齐，使用户无需等待一张地图完成成形就可以将全晶片表面映射到像素水平。为进一步提高测量精度和产量，6420采用了专有的原位光学计量技术，称为AugerScan™，利用螺旋电子检测三维表面特征。AugerScan技术还用于确定可重复性高于0.01 ppm的工艺产量。结合其先进的图像处理,该资产能够实现卓越的过程表征和故障分析.6520配备了一套用于数据存储和处理的高级软件工具。它提供了详细的测量审查，完整的图形显示和全面的分析全面收益管理。该模型还提供了从任何联网PC的完全远程访问,允许用户从任何位置监视测量值和性能数据。KLA/TENCOR 6420是寻找可靠、高性能的测试和计量设备的半导体制造商和设施的理想解决方桉。该系统具有先进的成像和传感能力、高精度和可重复测量,可提供快速可靠的工艺产量分析和缺陷识别。总体而言，KLA 6420是晶圆测试和计量需求的理想单元。