二手 KLA / TENCOR 6420 #293656103 待售

KLA/TENCOR 6420是一种先进的晶圆测试和计量设备，最多可并行分析8个晶圆。它具有光学干涉测量、共聚焦显微镜和其他成像技术的超高分辨率组合。系统只需几分钟就能以高精度测量单个器件的多个参数或单个晶片上的多个结构。晶圆测试和计量单元包括一个高精度、三维的干涉仪，用于测量表面地形和光学薄膜厚度。该机器还具有双重检测器，在分析晶圆上可能存在的各种不同结构时具有极大的灵活性。它可以测量电阻率、临界尺寸厚度等特征。KLA 6420上的工具还提供了一套功能强大的数据分析功能,可帮助识别多维度的结构、电气和光刻缺陷特征。它能够提取层高和侧壁角度信息，峰谷分析，计算曲率和粗糙度。它还配备了脉冲同步检测技术，允许从多种结构中同时获取多个地形测量参数。TENCOR 6420还拥有复杂的图形用户界面,简化了数据采集过程。它可以同时运行多个晶圆测试,同时显示数据、图形和所做测量的图像。该工具还提供了多种不同的软件包，例如用于生成CMP（化学机械抛光）地图的软件，可以用来分析整个晶圆表面的平面度。6420功能强大,用途广泛,是顶级的晶圆测试和计量资产,可提供跨多个测试参数的准确可靠的数据,使生产工程师和研发人员能够轻松地快速识别设备或结构缺陷。