二手 KLA / TENCOR 7000 Surfscan #9037841 待售
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ID: 9037841
优质的: 1991
Patterned wafer contamination analyzer.
Wafer surface scanner particle inspection
(3) Time count meters: 57132.86, 604, 25761
(1) HP Hewitt Packard PaintJet (Model: 3630A)
(1) Cyonics laser power supply
(1) Qualidyne power supply (Model: QML)
Push latch unlocking mechanism along bottom door
1991 vintage..
KLA/TENCOR 7000 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备,提供高级自动化和计量功能。它旨在为半导体器件提供可重复的结果和更高的吞吐量。该系统用于测量集成电路（IC）晶片的线宽、迭加、CD等关键参数，精度高、精度高。它是一个全自动单元,具有模块化设计,可高效操作和轻松升级。它由一个用于成像晶片的CCD传感器、计量的主框架和一个用于晶片精确对准的机器人传输机组成。CCD传感器包含了高达8µm的3D剖析的最新技术。它还配备了虹膜照明工具，以确保测量的正确照明。KLA 7000 Surfscan在单片机、多芯片和凸点结构中提供多种晶圆测量,最多40层。它将3 D纳米曲线计量学和一组IBIS测试密钥合并为一个可配置的资产。这样就可以在大批量生产线中进行过程控制和故障查找。其快速可靠的metrole校准使得该模型非常适合需要灵活性和高吞吐量的生产线。TENCOR 7000 Surfscan也具有高度可扩展性，具有多种测试模式，涵盖传统和新兴技术。它可以安装不同的选项，例如原位OTP或Overdrive测试，以测量不同批次的功率产量。它还支持多种覆盖和检查光学，如半反射或凹面光学。总体而言，7000 Surfscan是一种用于半导体生产应用的综合性晶圆测试和计量设备。它提供高精度和可重复性、高吞吐量、灵活性和可扩展性。它采用模块化设计,易于与现有设备集成,其先进的计量能力有助于保持生产线的更新和可靠性。
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