二手 KLA / TENCOR 7200 Surfscan #293626871 待售

KLA/TENCOR 7200 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，设计用于以无与伦比的精度和分辨率检查半导体晶圆的缺陷。该系统采用先进的激光和光学技术来确保最高等级的测量。KLA 7200 Surfscan利用三大类技术获得精确计量：激光扫描、成像和干涉测量。其激光扫描测量能力利用飞行光学时间和激光扫描显微镜精确测量高度、表面倾斜度等分辨率为2.5纳米的器件地形特征。其成像特征使用高分辨率反射显微镜和暗场成像来检测纳米尺度的缺陷。其干涉测量技术测量测量的干涉条纹与参考晶片产生的理论条纹之间的偏差，这将检测设备轮廓中的任何细微偏差。TENCOR 7200 Surfscan是一款健壮的晶片缺陷分析仪,可提供高达每小时1,200个晶片的高速数据采集速度,用于大面积映射和缺陷检测。它还具有低配电（2.6 kW）和环境稳定性，从校准温度30摄氏度到80摄氏度。7200 Surfscan直观的用户界面使得配置、分析和比较测试结果变得轻松。该单元非常适合验证设备的质量或过程改进的有效性,以及过程控制,包括在线产量管理、过程质量保证和产品选择。KLA/TENCOR 7200 Surfscan能够提供非常详细的质量保证信息,检测器件薄膜的粗细特征,如光电器件的地下缺陷和非均匀性。该机器支持打印和交互式分析,允许用户快速识别和解决生产问题。KLA 7200 Surfscan提供用于中高容量测试和计量的单个软件包。其激光扫描能力使其能够比传统光学方法更有效地测量和检测设备特性。它是可靠的过程控制和设备验证的一个经济高效的选项,重点是缺陷分析。