二手 KLA / TENCOR 7200 Surfscan #293664994 待售

KLA / TENCOR 7200 Surfscan
ID: 293664994
优质的: 1991
Inspection system 1991 vintage.
KLA/TENCOR 7200 Surfscan是一款完整的晶圆测试和计量设备,旨在满足半导体行业的需求。它能够测试范围广泛的晶圆格式,从标准的2-8英寸晶圆到大型和超薄晶圆。该系统提供了一整套先进的晶圆测试和计量工具,包括光学临界尺寸(CD)测量、光学轮廓(OP)测量、激光宽度(LW)测量、降噪单元(NRS)和实时缺陷定位(RTDL)。KLA 7200 Surfscan支持从顶部和底部全面测试和分析晶片。它利用其获得专利的自动扫描激光机器(ASLS)同时测量和分析整个晶片上的模式。高级工具和直观的软件功能相结合,使TENCOR 7200 Surfscan能够快速执行全面的测试和分析,从而节省宝贵的时间和金钱。7200 Surfscan提供了一个多功能的CD/OP测量工具,它具有广域视图显微镜资产,能够执行快速模式横向验证、CD测量和光学轮廓测量。该模型还提供了激光宽度测量模块,该模块可以使用非接触式测量来测量晶片上的线宽/空格阵列。KLA/TENCOR 7200 Surfscan的降噪设备(NRS)功能使测量能够自动校正外部噪声因素,如背景噪声、条纹效果和干扰。实时缺陷定位功能在笛卡尔坐标和极坐标中提供精确的缺陷位置分析。KLA 7200 Surfscan还提供了多种其他工具,包括光学缺陷审查分析、专门调查和统计过程控制。通过专门的研究功能,可以进一步分析光学测量不易发现的缺陷或图样结构。统计过程控制功能为过程监测和控制提供了晶圆数据的统计比较。TENCOR 7200 Surfscan支持多种硬件选项,包括探针卡、晶圆处理系统、清洁工作站等。这些硬件选项允许用户自定义系统以适合其特定应用程序。此外,该部门还提供为满足半导体行业的迫切需求而开发的各种软件程序。总体而言,7200 Surfscan是一台全面且高度先进的晶圆测试和计量机器,专为当今要求苛刻的半导体行业而设计。它结合了独特的功能、复杂的软件和硬件选项,是确保对当今复杂晶圆格式进行准确分析和测试的绝佳选择。
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