二手 KLA / TENCOR 7600 Surfscan #293658685 待售
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KLA/TENCOR 7600 Surfscan是专门为满足半导体行业需求而设计的顶级晶圆测试和计量设备。KLA 7600 Surfscan配备了业界领先的系统，如先进的光学系统，用于高分辨率晶圆检测、3D深度测量以及半导体生产工艺的光刻控制。TENCOR 7600 Surfscan中的先进光学单元具有0.35的NA和高达4mm的大视场（FOV）。这样即使在较高的晶圆速度下也能以高分辨率和准确度检测缺陷。此外，光学机器可以与集成激光干涉仪相结合，用于高精度的3D非接触式计量。这允许对晶片进行全面的计量，例如地形、缺陷高度和晶片平坦度测量。7600 Surfscan还支持使用KLA专有的HS-PS技术进行自动缺陷检测、识别和分类。该技术利用模式识别算法来区分粒子、蚀刻异常、结构和地下缺陷。KLA/TENCOR 7600 Surfscan的计量工具被设计为提供最大精度和重复性。它利用高分辨率的RGB检测器、可调光束角和高对比度的彩色滤光片来执行一系列复杂的晶圆测量和分析。此资产还能够检测多层和缺陷类型,包括空隙、凹坑、突起、深度变化和梯度。KLA 7600 Surfscan为晶圆处理提供了出色的正常运行时间和快速的周转时间。它采用了最先进的技术,包括高精度晶圆处理模型、控制组件、软件和功能强大的自动化平台。它可以检查直径达200毫米的晶片，每小时最多可以处理8个晶片。总体而言，TENCOR 7600 Surfscan是晶圆测试和计量的高度先进的工具。它拥有专门的光学设备和集成的激光干涉仪，提供卓越的缺陷检测、三维非接触计量学和自动缺陷分类。7600 Surfscan是半导体制造商的宝贵工具,他们的生产过程需要精确度和可靠性。
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