二手 KLA / TENCOR 7600 Surfscan #293662763 待售

KLA/TENCOR 7600 Surfscan是一种最先进的晶片测试和计量设备，用于晶片和介电表面的探测和表面表征。它基于专有的干涉技术,使系统能够准确评估表面的地形特性,如表面平面度、粒子计数和临界尺寸测量。KLA 7600 Surfscan设计用于在典型的半导体制造环境中进行过程控制和在线检查。它具有低功耗的特点，可以部署在测量晶片表面拓扑和缺陷的广泛应用中。该仪器在非接触模式下工作，使其能够探测和成像各种介电表面。其高精度地形测量可以检测到阶梯高度、悬垂、沟槽、沟槽等表面特性的微观变化。该装置配有先进的分析工具，便于确定颗粒尺寸和分布、线宽和减少表面粗糙度等关键缺陷特性。它还具有集成的报告功能,可以方便地比较一段时间内和多个晶片之间的过程。此外，TENCOR 7600 Surfscan可以连接到热氧化物测量系统等其他过程控制系统，使用户能够将测量过程集成到更大的过程控制工作流程中。该仪器包括分辨率为0.45µm的高分辨率CCD/CMOS传感器。这确保了曲面分析的最高精度和可重复性。它还利用数字信号处理和12位或更高分辨率来提供卓越的漂移稳定性和性能。7600 Surfscan具有自动扫描功能,使用户能够快速轻松地处理多个晶片。这在大量晶片必须按照行业标准快速分析的生产应用中尤其有用。KLA/TENCOR 7600 Surfscan是一种可靠且易于使用的晶圆测试和计量机器,为用户提供业界领先的测量精度和可重复性。它的高级特性和功能可确保快速高效地执行过程控制和串联测试,从而确保高水平的设备产量和质量。