二手 KLA / TENCOR 7600 Surfscan #293747974 待售

KLA/TENCOR 7600冲浪机是一种精密的晶圆测试和计量设备。专为半导体生产而设计，这台机器提供高分辨率的非接触式2D映射检查，可以检测和分析亚微米级半导体晶片上的潜在缺陷。该机器利用先进的光学字符识别（OCR）技术检测各种晶圆表面.该系统具有高吞吐量、高分辨率检测、高精度缺陷识别、宽视野、短周期和用户友好的Windows NT环境等功能。在操作中，KLA 7600 Surfscan单元从一个从输入盒式磁带获取晶片并将其定位在晶片处理站上开始。然后通过智能柱头对准隧道对晶片进行检查，该隧道精确测量表面地形，以确定晶片在测试板上的确切位置。空气滑轨然后将晶片移入测量平面进行机器检查。采用高灵敏度、低噪声光学探测器检测和测量亚微米尺度晶片缺陷。该机先进的OCR技术和内置算法提供了卓越的检测精度，并精确区分了关键缺陷和非关键缺陷。发现太小或太复杂而无法检测的缺陷可以在"工具箱"中进行标记和进一步审查。高分辨率成像由工具的四个高速视线扫描头执行。扫描头能够提供多达四行垂直分辨率高达50 nm的数据。这些扫描头可以以高达扫描速率6.5kHz方式跟踪晶片的表面。最后，TENCOR 7600 Surfscan配备了直观的软件，允许在简单的图形显示中查看测试结果。所有测量数据都存储在现场,可用于导出或传输。7600 Surfscan是一种高效可靠的晶圆测试和计量资产。它结合了先进的检测技术和直观的用户界面，成为任何半导体晶圆生产作业的绝佳选择。