二手 KLA / TENCOR 7600M Surfscan #293626880 待售

ID: 293626880
优质的: 1994
Inspection system 1994 vintage.
KLA/TENCOR 7600M Surfscan是一种领先的晶圆测试和计量设备,专为半导体行业的各种应用而设计。它可以测量、分析和检查半导体晶片的各种属性,包括地形、粗糙度、排泄率、覆盖率和临界尺寸(CD)。该系统提供全方位的软件和硬件功能,包括高分辨率成像、自动图像分析和详细缺陷列表,使用户能够在晶圆过程控制中做出快速准确的决策。KLA 7600M Surfscan的主要部件是单元控制模块(SCM)、测试头、视觉单元和运动机。SCM由用于控制工具的软件和硬件组件组成。它可以与外部测试系统和数据处理系统连接,使用户能够传输和归档测试结果。测试头是负责半导体晶片成像和检测缺陷的硬件部件。它使用两个摄像头进行操作,以实现接触和非接触成像。视觉单元用于提高低倍率图像的分辨率,用于模式识别和缺陷检测。运动资产提供晶圆表面的定位和控制,以实现精确的成像.TENCOR 7600M Surfscan能够分析由硅、玻璃和各种聚合物表面等材料制成的晶片。其独特的成像技术、图像缝合能力和强度校准使用户能够在没有操作员干预的情况下实现卓越的精度和准确性。该模型具有用于缺陷检测和控制的几个高级应用,包括基于分类器的缺陷检测以实现有效的排序,以及用于识别关键过程参数的特征识别模块。它还具有一系列质量检查配置工具来定制测试以满足特定的客户要求。此外,设备还配备了多种安全测量功能和环境防护功能。7600M Surfscan是一个可靠和通用的晶圆测试和计量系统,在广泛的应用中提供了非常准确的结果。其先进高效的单元组件,如SCM、测试头、视觉单元和运动机器,结合起来,为晶圆过程控制提供了全面准确的解决方桉。利用这一工具,用户可以获得更高的精度和精确度,自动化晶圆测试过程并降低成本。
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