二手 KLA / TENCOR 7600M Surfscan #293639668 待售

KLA/TENCOR 7600M Surfscan是为半导体晶圆生产而设计的最先进的晶圆测试和计量设备。它旨在帮助半导体制造商提高其总产量和产品质量，对晶圆表面进行更准确和完整的测量，包括对沉积在晶圆表面的材料的物理和化学性质进行测量。冲浪扫描7600M有两个主要组成部分：一个先进的晶圆级成像系统和一个先进的计量子系统。其晶圆级成像单元能够以5微米的分辨率捕获图像，并检测到低至1纳米的粒子和缺陷。它还可以读取和分析各种晶片表面特征，如晶粒尺寸、表面粗糙度和污染程度。Surfscan 7600M的高级计量子系统包括高级干涉测量模块、宽带椭圆偏振机和模片扫描站。干涉测量模块可以在三个维度上测量样品的地形，分辨率为0.25纳米。宽带椭圆偏振工具可以测量分辨率为0.5纳米的样品的光学特性，而晶片扫描站可以测量样品的尺寸、形状和方向，精度低至0.1纳米。Surfscan 7600M还具有许多先进的功能,使其易于使用并集成到现代半导体制造系列中。它配备了自动对准资产，使晶片与模型对准以进行精确测量。它还配备了先进的晶圆识别设备，能够检测和识别多达24种不同的晶圆。最后,它附带了一整套软件,可提供定制的分析、数据管理和报告功能。总而言之，KLA 7600M Surfscan是一个先进的晶圆测试和计量系统，为半导体制造商提供可靠准确的晶圆表面测量。其最先进的成像和计量功能,加上一系列高级功能,使其成为提高晶圆产量和产品质量的宝贵工具。