二手 KLA / TENCOR 7600M Surfscan #9265522 待售

KLA/TENCOR 7600M Surfscan设备是一种先进的晶圆测试和计量系统，适合生产级使用。它配备了先进的多区域图样图像传感技术，提供高吞吐量和准确的结果。该单元满足半导体制造、平板显示器和光电器件行业的基本工艺控制需求。KLA 7600M Surfscan的设计具有非常用户友好的界面，可以方便快速地进行晶圆测试和计量操作。该机配有双激光图样图像传感模块，可确保精确确定缺陷位置、尺寸、形状和其他特征。它还包含了标准的自动光学自动对焦功能,以及用于捕获晶圆上复杂特征的超高分辨率图像的三维浮雕工具。TENCOR 7600M Surfscan设计用于处理直径可达8英寸的各种晶片,并配备了包括专用厚、薄晶片传感器、单元件和多元素聚焦模型的对准资产,以及便于快速扫描晶片表面的检流计。此外，该设备还具有一次扫描多达8个晶片的能力，从而提高了吞吐量。该系统包括一个内置缺陷审查站和专用软件，用于手动审查多种缺陷类型。它还为故障晶片的快速安装和后处理提供了可选的单元体系结构。这样可以确保如果晶片的缺陷无法立即纠正,则不会重新处理它们。此外，它的嵌入式计量软件能够进行精确的非接触晶圆表面测量。综上所述,7600M Surfscan是一台晶圆测试和计量机,它提供了一整套功能,可实现精确、快速的晶圆测试和计量学操作,包括用于手动和自动检查的缺陷审查和计量学软件。该工具具有强大的阵列图像感测模块、自动光学和其他功能,可确保高吞吐量和可靠的结果。