二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #158595 待售

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KLA / TENCOR 7700 Surfscan
已售出
ID: 158595
晶圆大小: 8"
Wafer inspection system, 8" Can accommodate wafers from 2 to 8" dia. Sensitivity - Particle: .117 micro-meter dia. latex spheres with >90 percent capture rate Haze: 1 ppm minimum Cassette to cassette handling Detects defects as small as 0.15 µm Defects below 0.2 µm can be detected on many process levels, including nitride, oxide, polysilicon and TEOS films.
KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备,为晶圆表面质量控制提供可靠而强大的解决方桉。该系统包括提供高分辨率成像、自动检查和快速数据分析的高通量光学显微镜。该单元具有高达20毫米的令人印象深刻的视野,可以快速准确地扫描整个晶圆表面。KLA 7700 Surfscan使用了几种先进的技术来保证高品质的性能。它有一个集成的频闪激光机,在明场和暗场成像模式下提供晶圆表面的详细高清成像。该工具还利用了几种先进的算法进行缺陷自动检测和分类。此外,TENCOR 7700 Surfscan还提供了广泛的自动化计量功能,包括晶圆聚焦、临界尺寸测量、边缘和边缘轮廓测量、3维测量等等。7700 Surfscan还提供了可靠且易于使用的软件平台。此软件提供直观的用户界面、自动缺陷审查功能和强大的数据分析工具。此外,该资产还具有网络连接和数据传输功能,使晶圆测试和分析数据库的管理更加容易。然后可以对质量控制数据进行排序和分析,以提供晶片表面性能和可靠性的实时反馈。总体而言,KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一种可靠且高质量的晶圆测试和计量解决方桉。其先进的成像和检测技术,加上直观的软件平台和强大的网络连接,使该模型成为任何晶圆测试和分析环境中的宝贵资产。凭借强大的性能和用户友好的设计,KLA 7700 Surfscan为确保晶片在研究和工业应用中的质量和可靠性提供了可靠而高效的解决方桉。
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