二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293592610 待售

KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一款高性能晶圆测试和计量设备。配备了强大的光学显微镜级，可以测量和分析半导体晶片和基板的表面特性。该系统能够为常规和复杂的表征应用提供强大、可靠和准确的结果。Surfscan 7700采用双TMS200图像处理和图像分析处理器。它配备了高性能的8 "x 8"倾斜平移级和4级自动激光偏斜单元。该平台还配备了高度灵敏的电动Z焦机，可进行精确的垂直调节和高达10微米的精确测量范围。surfscan 7700提供了广泛的晶圆计量功能,包括CD、Uniformity、Traceability和Profile测量。它还可以定量测量诸如表面粗糙度、平均高度、波浪度、步高、微沟槽、沉降和弓等历史和动态参数。该工具与一系列先进的光学配件兼容，包括动态偏振平台、斜角照明器、人工缺陷发生器和暗场照明器。它还具有专有的光条纹功能,可进一步增强视野内的照明均匀性。除了晶圆计量功能外，surfscan 7700还提供晶圆缺陷分析功能。它可以检测到粒子缺陷、结构缺陷、界面缺陷等各种类型的不可见缺陷。借助其高端传感器和扫描系统，可以准确检测和计数尺寸小于200 nm的颗粒缺陷。Surfscan 7700还具有先进的内置反馈控制资产,使模型能够动态适应不断变化的环境条件,从而保持最佳成像性能和准确性。此外,它的紧凑设计允许在各种实验室设置中轻松安装。综上所述，KLA 7700 Surfscan是一种高性能晶圆测试和计量设备，可用于晶圆表面表征、晶圆缺陷分析和环境反馈控制。它提供了广泛的高级功能、卓越的测量精度和可重复性、易于安装以及出色的成像性能。