二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293636821 待售
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KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一款用于最先进的半导体技术节点的领先晶圆测试和计量设备。它提供了快速、可靠的测量,可以改进过程控制和设备性能优化。它采用基于光学的高精度多传感器体系结构进行设计,使其能够精确测量各种关键设备参数。KLA 7700 Surfscan配备了环境控制、非接触式、近场光学显微镜（NFOM）头，以允许快速、可靠和可重复的分析测量最关键的设备参数，并以最小的用户干预。TENCOR 7700 Surfscan允许用户测量各种设备类型,包括平面、SOI、高级电阻器、少数载波设备、深沟MOSFET、finFET和高性能晶体管。它为2D迭加、临界尺寸（CD）和轮廓、线缘粗糙度（LER）等器件参数以及阈值电压、载流子移动性等电气特性以及介电、光学、阻尼特性的测量提供了卓越的精度。7700 Surfscan利用独特的多传感器体系结构,该体系结构结合了探针、数据转换和多路复用、缩放和焦点控制、扫描执行器、NFOM光学设备和彩色成像照明器。这种多传感器体系结构允许极快的设备特性和数据采集。此外,软件套件允许用户以手动或自动的方式控制、监视和分析系统收集的数据。KLA/TENCOR 7700 Surfscan的核心是一个强大的扫描执行器,它能够以极高的速度以高精度测量平面和复杂的设备。扫描执行器利用强大的计算机算法，即使在最具挑战性的条件下，也能精确引导测量设备通过样品。这与双向数据采集单元相结合，确保在样本上准确捕获所有相关信息。该机器能够满足广泛的优化需求,因为它具有强大而灵活的模块化体系结构,并且在数据收集和解释方面具有高度的一致性和可重复性。这种灵活性改进了识别和纠正半导体制造过程中任何问题的过程,以最大限度地提高产品可靠性和优化过程性能。KLA 7700 Surfscan是任何需要快速可靠测量以优化其制造过程的制造商的理想工具。它为各种设备参数的测量提供了卓越的精度,其多传感器体系结构与灵活的模块化体系结构相结合,使工具能够满足几乎所有的优化需求。TENCOR 7700 Surfscan比以往任何时候都更容易确保您的产品每次都能按预期运行。
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