二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293654401 待售

KLA/TENCOR SFS 7700是一种自动化的计量和晶圆测试设备,旨在实现半导体制造和制造过程中的高级在线计量和故障分析。该系统提供晶圆上测试结构的高分辨率三维成像和先进的自动化测量，允许对关键过程结果进行近乎即时的反馈。综合起来,这项全面的技术可以实现全面的故障分析、质量控制和过程优化,并对晶圆过程进行前所未有的精度和控制。KLA SFS 7700通过多种成像技术提供卓越的3D可视化功能,包括本地光学显微镜技术和高速扫描电子显微镜（SEM）。此外,该单元还采用了先进的场景重建算法,用于自动3D功能,可提高速度和准确性。7700还包括一个专有的计量包,它可以快速、准确地测量特征大小、形状和拓扑。7700还包括一个数据采集机（DAS）,它在三个领域提供数据分析功能：测试晶圆分析、实时过程控制和过程产量优化。测试晶片分析组件提供详细的特征图,为产量改进计划提供信息,而实时过程控制组件则提供有关单个晶片级别的串联质量和过程检测的信息。最后，工艺产量优化组件指导晶圆质量改进计划，同时提供工艺漂移和不良趋势的预警。此外,7900工具提供了强大而灵活的故障分析功能,使流程工程师能够查明流程异常的来源。7900利用优化的技术组合来精确检测潜在故障,如模模比较、测量趋势分析、交叉晶圆分析、色图相关性等,以查明潜在故障驱动因素。此外,此资产可以自动化以进行内联测试和流程监控,从而提高流程可见性和反馈能力。总体而言,TENCOR SFS 7700提供了强大的晶片内部测试模型,提供详细的过程控制、高级故障检测和优化功能,以提高半导体制造和制造产量。该设备全面的计量和成像功能,加上自动化的数据分析和故障检测功能,使用户能够快速准确地监控和调整半导体制造过程,从而提高性能和产品质量。