二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293655831 待售

KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，提供高精度的高通量非接触晶圆测量。它用于测量和检查各种掺杂水平、材料和几何形状的晶片，用于广泛的行业。该系统由高保真扫描光学器件、集成的高清有源传感单元和强大的实时数据采集和分析包组成。这三个集成组件协同工作，快速准确地测量和检查各种掺杂水平、材料和几何形状的晶片。高保真扫描光学器件提供了1.25 µrad的角分辨率和扩展的视野，允许更大程度的图像清晰度和准确性。这台机器的设计目的是从晶圆的关键区域获得精确的测量，包括陡坡剖面（SSU）、临界尺寸（CD）和间距测量。与传统的手动检查相比,集成主动传感工具使资产能够以更高的准确性和更快的周期时间实时检测和分类缺陷。模型的算法是根据每个晶片的特性量身定制的，允许最大的检测效率。这种高性能的传感设备对于非常小的缺陷极为精确，使得它适用于一系列的制造过程。最后,强大的数据采集和分析包提供了与晶圆线宽、缺陷大小和其他复杂信息相关的详细结果,而无需手动数据解释。这个复杂的软件包能够在毫秒内呈现定量结果，为表面计量应用程序提供及时和连续的信息流。总体而言，KLA 7700 Surfscan是一个创新可靠的晶圆测试和计量系统。它专为处理要求最苛刻的晶片特性而设计，为众多行业提供高精度的测量和检查。集成单元对用户友好,可深入分析关键晶片特征及其缺陷。这一切共同为业界提供了一个准确而有力的工具，用于有效的晶圆测试和计量。