二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293655833 待售

KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，用于表征半导体晶圆。它提供扫描电子显微镜（SEM）与二次电子和反向散射感应地形，和扫描交流和直流电流系统的电评估和缺陷诊断。SEM系统包括高通量、低剂量映射的7700ES快速扫描仪；用于精确、高分辨率测量的7700FS精细扫描仪；以及用于局部电容测量的7700SD扫描电容显微镜。交流/直流单元包括用于高性能电气测量的交流/直流测量通道和用于分析数据集的交流/直流分析机。该工具特别适用于最小CD为65nm或更小的高级节点应用程序。KLA 7700 Surfscan能够以低成本提供卓越的测量可靠性和性能。交流/直流资产采用频域算法，可以测量超高速设备，检测和表征其他系统可能遗漏的关键缺陷。ES和FS扫描仪具有快速的扫描速度和高的动态范围,能够对3D地形和相变结构进行精确的测量和缺陷表征。SD SCM的集成控制器和16位A/D转换器提供100纳米的信号采样和测量精度。TENCOR 7700 Surfscan还提供了一个功能强大的软件套件,用于分析和可视化数据。Surfview TSR软件使用户能够快速、轻松、准确地分析数据并查看逐模测试结果。FASt审阅软件提供了工具预配置和默认值,使操作员能够为特定应用程序执行自动设置。Smart review软件是一个基于Windows的应用程序,它为快速查找大量晶片上的缺陷提供了一个用户友好的环境。综上所述,7700 Surfscan是一种先进的晶圆测试和计量模型,能够提供出色的测量可靠性和性能。它的多种仪器和软件使其成为高级节点应用程序的理想选择。