二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293747975 待售

KLA/TENCOR 7700是一种全自动晶圆测试和计量设备。该系统能够处理8英寸和12英寸晶片，用于测量晶片、IC和MEMS上的电气和光学性能。该单元利用集成显微镜、光学数字化仪和成像系统以及用户可编程的机器人级来测量单个环境中的各种特征。KLA 7700具有用于光学测量的3.4纳米分辨率和用于不同成像技术的各种传感器,是设备表征、故障发现和故障分析的理想选择。TENCOR 7700的成像光学包括亮场、暗场、偏振和荧光能力。该工具还提供了广泛的计量功能,如表面粗糙度分析、线宽测量、凸起或空隙检测以及3D光学表面轮廓分析。该机器能够测量小至20纳米的特征，精确度优于一纳米。此外，这种工具能够处理多达12英寸的晶圆，并且能够达到高达每分钟10,000次测试的测试速度。7700包括多种基于图像的测试功能,例如参数化测试、模具检查和缺陷成像。参数测试能够识别由于温度、电压和其他环境因素引起的性能变化。模具检验能力用于检测晶片上的结构缺陷、屈服问题和工艺变化。缺陷成像功能用于检测不可见缺陷并识别污染物和颗粒。KLA/TENCOR 7700提供Advanced Color Variation 2.0 （Advanced Color Variation 2.0, ACV2.0成像。ACV2.0集成了NIR（近红外）成像和高级颜色分析,以快速准确地测量不同层之间的复杂颜色转换。使用此技术,资产能够检测颜色转换或异常,从像素到像素,否则可能会丢失。KLA 7700由COMNET-I可编程软件控制，它允许对晶圆规格进行快速、容易的编程。利用行业标准的LIMS、工作表和可扩展的解决方桉,该模型可以连接到MES系统,减少手动编程和脚本编写,并实时提供具有统计完整性的过程控制数据。工厂车间测试检验，TENCOR 7700有能力融入生产线。使用模块化软件包,可以定制设备以满足客户的个别要求,例如自动配方、定制的作业处理和受控的工厂设置。因此，该系统确保每个晶片在测量和产量方面都得到准确和有效的分析。