二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293749242 待售

KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，提供高精度和重复性，以分析半导体器件的正面和背面。KLA 7700 Surfscan由KLA开发,采用先进的光机械对准技术来准确识别和测量特征。利用最新的工业标准线性差分变压器（LVDT）和红外激光位移传感器，系统能够为单个模具的背面拓扑绘制完整的晶圆图。使用的光电子方法允许设备识别缺陷，从几微米的大小到直径最大为35毫米。为了提供最准确的结果，Surfscan机利用了多光束照明和基于光栅的光学级的光学致动。这两个组成部分的组合确保了精确的测量。此外,刀具还使用校准的测量点来确定特征的确切形状及其方向和角度。除了检测功能和缺陷之外,Surfscan还引入了功能强大的自动化功能,使用户能够准确测量各种设备。通过使用先进的编程算法，利用标准计量技术快速有效地捕捉特征的位置、形状和大小。资产还提供了测量模具可重复性以及测量全局参数（如厚度、迭加、对齐和螺距等）的选项。TENCOR 7700 Surfscan拥有广泛的住宿设置，支持多种晶圆大小和类型。该模型的短周期和环境合规性为用户提供了在清洁室环境中快速可靠测量的机会。此功能非常适合半导体制造和测试。7700 Surfscan作为下一代晶圆测试和计量设备,为寻求密切监视半导体器件制造过程的用户提供了最高的精度和准确性。通过使用先进的opto机械对齐和opto电子方法，系统能够捕捉小特性和缺陷，同时提供高效的工作流程。通过结合自动化特性和一致的测量点，Surfscan单元是半导体行业的理想解决方桉。