二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9011192 待售

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KLA / TENCOR 7700 Surfscan
已售出
ID: 9011192
Patterned wafer inspection system.
KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一种紧凑、高精度、晶圆测试和计量设备,适用于纳米器件制造。它使用先进的多传感器技术来提供多种关键测量,包括地形、迭加、聚焦和薄膜厚度测量。其精确度和准确性使其能够用于各种应用,如研发、鉴定、生产和质量控制。KLA 7700 Surfscan的设计可容纳广泛的基板,包括半导体、光学和MEMS器件。它具有防"光学反射"(AR)涂层级,即使在强反射的情况下也能进行精确的表面测量。集成的自动对焦功能可确保一致且可重复的测量。其高灵敏度和分辨率可用于检测可能影响设备功能的小缺陷,如基板上的颗粒或划痕。TENCOR 7700 Surfscan提供了几种用户可配置的测量设置,可用于优化其性能。这些设置中有微罐延迟、扫描面积和测量范围。该系统高效灵活,允许用户持续维护自己的流程。它还包括数据监视功能,这些功能允许连续监视不同的参数,并且可以在进程或性能超出预期参数时向用户发出警报。7700 Surfscan还可以与各种计量系统集成,为客户提供满足其晶圆测试和计量需求的完整解决方桉。它与一系列第三方传感器兼容,包括激光共聚焦、力和反射显微镜,使其易于使用和定制以匹配客户的应用程序。该单元还包含一系列数据分析工具,帮助用户进行更复杂的测量,以及验证和分析其流程结果。它具有全自动数据记录功能,使用户能够存储和分析数据以用于报告和归档。该机采用Windows操作工具供电,具有用户友好、直观的图形界面,使用简单、学习方便。综上所述,KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一种用途广泛、符合人体工程学、功能丰富的晶圆测试和计量资产,可用于多种应用。它提供了可靠、高精度的解决方桉,可以提高流程性能并优化结果。其自动化的数据记录和数据分析功能使复杂的测量更易于管理,使其成为晶圆测试和计量的强大工具。
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