二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9042217 待售

KLA / TENCOR 7700 Surfscan
ID: 9042217
Patterned wafer surface inspection system.
KLA/TENCOR 7700 Surfscan设备是一种表面测试和计量系统,设计用于对先进的微电子基板(晶片)进行精确的测量、检查和表征。它提供晶圆厚度和平坦度、特征大小、表面粗糙度/纹理和清洁度的晶圆表面分析。该单元能够以高精度在宏观和纳米尺度上进行测量。KLA 7700 Surfscan机器使用3D光学和2D光学技术捕获晶片图样数据。三维光学技术捕获晶片的地形表面数据,从而可以测量微小的缺陷,如划痕、颠簸和丘陵。二维光学技术从晶圆的平面视场中捕获数据,测量整体模式均匀性或"平坦度"。该工具采用高性能分析技术,能够测量尺寸小于0.2 μ m的特征。TENCOR 7700 Surfscan还配备了先进的图像可视化和分析工具,使数据解释更加容易。7700生成的数据将通过专有算法和统计模型进行分析,这些算法和模型有助于验证产品性能,并在整个加工和生产步骤中产生产量。通过现场自动测量,7700 Surfscan有助于降低人为错误和可变性的风险,同时提高吞吐量和产量。此外,该资产还包括用于简化校准程序的自动聚焦技术,并集成了先进的模式识别,以增强对设备特性的识别。总体而言,KLA/TENCOR 7700 Surfscan是晶圆测试和计量的理想型号,因为它具有高精度、检测微缺陷的能力、自动化过程和高级图像可视化工具。KLA 7700 Surfscan具有精确测量特征尺寸和表面光洁度的能力,是晶圆制造和先进半导体生产的重要工具。
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