二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9171318 待售

KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一款最先进的晶圆测试和计量仪器，设计用于半导体行业的过程监测。KLA 7700 Surfscan采用先进技术设计,实现了前端、后端和薄膜工艺的特性。TENCOR 7700 Surfscan通过以太网轻松连接到现有的实验室和晶圆厂生产系统,为客户提供快速收集数据、轻松查看结果以及快速响应过程偏移的能力。它包括自动化晶片处理、原位光谱、自动化晶片映射、聚焦离子束成像等集成组件。Surfscan的硬件和软件支持快速的数据收集和分析。7700 Surfscan的核心是扫描头。这提供了在极端8英寸至200毫米晶片或窗口（低压和高压）中精确检测信号的精度,闪电快速扫描速度高达542mm/s。利用KLA专利的单Scan™技术,通过五个独立控制、高分辨率、长寿命、400微米压电扫描阶段实现了这一目标。Single-Scan™的另一个优点是特殊的计分公差,它提高了晶片层和组成的可见性。再者，KLA/TENCOR 7700 Surfscan配备了两台同时光谱仪来测量50-2000nm光谱范围内小至三纳米的粒子。这两个光谱仪包括范围广泛的扫描速度和面积扫描密度，使得晶圆检查到微米尺度。光谱仪还允许Surfscan快速识别粒子，仅用一次扫描就能准确地将它们分类为硅、有机、硅酮或其他粒子。Surfscan 7700利用高级算法提供了非常精确的三维晶圆扫描。这些算法与系统的焦点离子束成像功能配合使用,提供了令人难以置信的详细地形和晶圆及其厚度或组成的污染映射。Surfscan的第二种算法还有助于降低噪音和提高灵敏度,从而为客户提供更高的可靠性。Surfscan 7700是市场领先的晶圆测试和计量仪器，提供快速、准确、可靠的数据。KLA 7700 Surfscan为半导体制造和测试提供了一个必不可少的工具。