二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9198541 待售

KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，用于测量和表征集成电路和微电子元件的物理、电气和光学特性。KLA 7700 Surfscan系统是半导体和光电元件开发、表征和生产的关键工具。7700具有高精度的计量单元，具有优越的重复性和准确性。它旨在测量尺寸从1纳米到6毫米的特征，支持广泛的光刻技术，包括电子束、DUV、ArFi和可见成像。而且7700可以测量表面地形，分辨率为0.01纳米。TENCOR 7700 Surfscan使用多种计量技术进行多种测试，包括扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、共聚焦显微镜（CM）、白光干涉测量（WLI）和光学散射测量（OS）。这些技术用于分析该晶片上电路的几何形状和特性。SEM用于观察电路的布局，包括表面沉积金属的生长速率。AFM提供了一个高分辨率的表面3D图像，允许精确表征表面粗糙度和精确控制晶圆的粗糙度预算。CM可实现大规模和小规模分辨率的无损成像,并可准确描述设备性能或伪速度和接触等特性。WLI是一种基于衍射的成像技术，可以监测涂层和薄膜的状况和稳定性。OS检测电路板表面地形的光学效应，适用于高精度尺寸测量和晶圆特征表面分析。7700 Surfscan是一款功能丰富的计量机，允许完全的灵活性和可扩展性。它可以用于手动操作和与其集成硬件的自动扫描，如数据采集和分析板，或者操作员可以集成第三方仪器，如扫描电子显微镜界面。它还可以容纳各种探针，包括手动和机动阶段，并与各种软件工具一起部署。KLA/TENCOR 7700 Surfscan工具是一种可靠且经济高效的计量资产,可用于测量电路和组件的物理、电气和光学特性。它被用于各种开发和生产应用，是半导体工业中必不可少的工具。