二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9221363 待售

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ID: 9221363
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Wafer inspection system, 8" Automatic handling, 4"– 8" Patterned / Unpatterned wafer inspection system Defects maximum resolution 0.15µ Scan pitch: Max resolution – 12.5m between scan lines XY Coordinates accuracy within 1% 30 Wafers per hour throughput High sensitivity on after-etch and high topography application Uniphase argon ion laser Low contact wafer chuck, 200mm dia Blower assembly 1996 vintage.
KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备,旨在识别和表征半导体晶圆上的物理缺陷。利用高功率显微镜和相关的图像处理软件,该系统能够检测和测量晶圆上最微小的特征。7700单元利用最先进的光学和图像处理平台,从各种各样的晶圆类型生成高分辨率图像。它提供了从500到8,000X的放大视野,允许检查和分析20 µm到50 nm的特征尺寸。机器的成像功能和强大的软件使用户能够执行严重缺陷检测和分类任务。KLA 7700 Surfscan配备了晶圆级图像缝合功能,允许用户将多个阶段的图像组合到单个图像中。此自动化过程有助于最大限度地减少误报和误报,同时允许进行高通量晶圆测试。TENCOR 7700 Surfscan工具用户友好,具有直观的图形用户界面(GUI),易于操作。此GUI还允许用户快速配置映像参数、为不同的图像处理技术设置条件、选择模式识别参数以及配置报告要求。7700 Surfscan资产中使用的软件提供了强大的模式识别功能。它能够准确检测、测量和分析各种缺陷类型,包括异常、散射、粗糙度、凹坑和空隙。该模型还具有缺陷归因功能,允许用户将晶圆缺陷归因于处理源,从而为用户提供有关根本原因的详细信息。KLA/TENCOR 7700 Surfscan设备是一种高效、可靠、经济高效的半导体晶片检测和分析方法。其先进的成像功能、图像缝合功能和强大的模式识别算法使其成为与缺陷相关的晶圆测试的理想工具。
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