二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9234278 待售

KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一种最先进的晶圆测试和计量设备,用于测量设备的地形、图样、迭加、尺寸和缺陷特性。该系统能够测量结构尺寸到0.3微米，精度和精度都很高。它设计用于全自动扫描和数据输出,同时提供用于图像分析的高级单元软件功能。KLA 7700 Surfscan包括一个独特的、双原位白光干涉仪（WLI）作为主要的光学成像元件。这种WLI有助于提供优越的、非接触的、三维成像以及纳米结构和图样的快速表征,即使在连续图样化的表面上也是如此。机器包含几个物理属性,这些属性可实现卓越的检查速度和吞吐量,例如大检测器区域（2X）和多个检测设置。该工具可为各种应用程序配备多个自动化模块：从检查完整晶片到带或不带映射的图样化或非图样化曲面。这使得它能够检测和分析各种表面缺陷和晶圆扭曲的结构。再者，资产包括大量用户定义的参数，如检查速度、高视觉分辨率、动态聚焦和部分扫描。所有这些参数都可以根据应用进行调整。TENCOR 7700 Surfscan还具有高级软件功能,可提供直观的用户界面以及通用的分析和缺陷分类工具。该模型还可以与其他具有成本效益的控制器和可编程逻辑控制器（PLC）集成，用于自动化和过程控制。此外,它还包含内置的高分辨率成像和局部区域优化（LRO）功能,可提高设备的整体精度和结果的统一性。综上所述，KLA 7700是当今市场上最好的计量和晶圆检测系统之一。其独特的功能如双原位WLI、多检测设置和自动化模块、高级软件功能、集成可编程逻辑控制器（PLC）和局域优化（LRO）功能，使其成为测试和分析广泛晶片表面特性的可靠且经济高效的解决方桉。