二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9239241 待售

KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一款先进的晶圆测试和计量设备。它配备了强大灵敏的光学干涉表面剖面仪，能够以纳米分辨率对极其复杂的表面进行高度精确的测量。该系统还可用于执行关键缺陷检测和分析。它能够非常精确地测量表面地形、厚度、侧壁角度、平面和线条或特征宽度。KLA 7700 Surfscan单元可容纳直径不超过200 mm的晶片,设计用于最佳测量可重复性。TENCOR 7700 Surfscan利用干涉光学器件配对和高分辨率CCD相机分析晶圆的表面轮廓、地形、线宽和特征尺寸。通过其高精度扫描技术，Surfscan能够捕捉到表面特征的详细图像，然后可以与预定义的产品规格进行分析比较。Surfscan提供多种照明技术,以减少或消除晶粒噪声和表面反射率影响,从而实现最精确的测量。Surfscan的软件设计用于处理表面图像,并以微米精度定量测量2D轮廓数据。它还能够分析缺陷部位，并使用既定的工具和算法进行识别。然后可以使用这些测量来帮助确定产量和缺陷处理,以及帮助确定后续晶圆处理的设计规则。Surfscan可以与多种操作系统接口，使其适合广泛的应用。一般认为它是目前可用的最精确的晶圆测试和计量系统之一。这台机器设计的可靠性和可重复性，确保用户可以依靠获得一致和准确的结果。最后,7700 Surfscan附带了全面的用户手册和技术支持文档,以指导用户完成仪器的设置和功能。