二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9284333 待售

KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，用于检查和表征半导体器件的芯片表面。它的高分辨率CCD相机能够测量设备上的表面缺陷，在确定尺寸和地形时提供高精度。计量系统可用于检查在芯片制造过程中过程的控制情况。它能够进行金属沉积、表面粗糙度和轮廓检查，并采用光学成像和光学散射技术。KLA 7700 Surfscan使用其CCD相机,可以评估芯片上各种特征的轮廓形状、线性度、俯仰度和长宽比。此外，该装置能够同时进行2D/3D表面缺陷计量和粒子检测。TENCOR 7700 Surfscan还包括成像硬件和算法，用于检测非均匀性、大颗粒、结霜、线宽以及整体晶圆平坦度分析等过程相关缺陷。这提高了过程控制和产品产量。这也是非常准确的表征opto-机械结构，如MEMS和腔结构。它能够跨多个芯片快速检测和计量基于特征的缺陷,从而显着缩短缺陷分析和优化的周转时间。该机器有各种定制，用于测试直径高达450mm、高速的晶片，最大速度为2500晶片/小时。硬件坚固、无振动,非常适合在生产环境中使用。它还与领先的ERP系统集成,以实现无缝工作流集成和自动化。此外,其直观的用户界面允许用户快速、轻松地存储和检索晶圆结果。总之，7700 Surfscan是一种可靠而强大的晶圆测试和计量工具。它是测试和分析半导体器件芯片表面的理想解决方桉，确保了高精度、速度和过程控制。