二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9398780 待售

KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，用于检查微电子器件的工艺缺陷、颗粒污染物和薄膜厚度。它具有保证精度的高精度三轴电动晶片级，以及用于检测微妙表面变化的激光传感系统。KLA 7700 Surfscan使用5x10-9 N/m2的二极管泵浦激光器测量小于0.2至5 µm的表面粗糙度，测量0.1 nm内的差异。其空间分辨率在0.5至4 µm之间达到0.5 λ/ro。该单元可设置用于静态或动态晶圆测量,并允许在无损和可重复测试中收集数据。TENCOR 7700 Surfscan还提供了粒子检测、结构筛选、分类、轮廓映射和直方图等高级数据分析工具。此外，它还提供了传统的试验台和扁平带。可以在3D中查看数据采集,从而可以准确分析测量结果。这些工具有助于识别开发早期阶段的缺陷,使工程师有更大的机会在问题成为全面问题之前纠正任何问题。7700 Surfscan还提供了高级缺陷审查技术,如超级特征检测、PIN映射和引导特征分析,帮助工程师快速隔离和识别缺陷原因并快速解决问题。总体而言,KLA/TENCOR 7700 Surfscan是确保微电子器件精度和可靠性的宝贵工具。其高精度的机动化晶片级和激光传感机提供精确的读数，而其先进的功能则帮助工程师快速检测和隔离缺陷。