二手 KLA / TENCOR 7700 #9377288 待售

KLA/TENCOR 7700晶圆测试和计量设备是一种多功能、高性能的系统，提供半导体器件的高效测试和计量。它旨在为各种设备提供高效和准确的计量，包括晶体管结构、临界尺寸、掺杂剂浓度和污染物测试。该装置能够测试直径最大为18英寸的晶片和八个腔室。KLA 7700机器采用集成的自动晶圆处理程序（AWH）,可对各种设备几何形状进行高效、可靠的测试。该工具可容纳各种测试测量,包括独立和模块化配置的光学和电气分析。该资产的VersaMetric™ Feature Extractor软件使研究人员能够轻松提取特征信息,并通过可自定义的图形界面屏幕可视化结果。TENCOR 7700型号使用专有的、先进的深紫外线（UV）光源进行测量。这种光源是可调的，以便考虑不同的设备行为，即使在低温或高温下测量也能提供准确的数据收集。设备的"焦点变化"（Focus Variation）选项还允许校准光束点尺寸,以适应不同的设备几何形状。对于串联分析，7700系统使用非接触式电容测量传感器，能够检测导电材料极小的差异。此功能使设备能够快速测试晶片的电气和结构缺陷,从而检测到细微的结构变化或设备随时间的退化。总体而言，KLA/TENCOR 7700机器为半导体器件提供了广泛的测试和计量解决方桉。它利用各种高级功能（如"VersaMetric™特征提取器"软件和"焦点变化"选项）,以确保高准确性和高效率的测试。该工具的非接触式电容测量传感器能够对小缺陷进行在线分析和检测，提高资产结果的准确性。