二手 KLA / TENCOR 7700M Surfscan #293603718 待售

KLA/TENCOR 7700M Surfscan是一种晶圆表面测试和计量设备,旨在在生产环境中优化精度、精度和吞吐量。它可以检测范围广泛的晶圆表面的材料特性，包括介电表面、金属、铅框和嵌入结构的晶圆。该系统的核心是一个高分辨率的数字显微镜子系统,它可以放大到1800倍来捕获表面图像,从而可以对最复杂的表面进行详细分析。该单元可以自动执行全场地形扫描，并在最复杂的特征上识别参数横截面特征。为确保高精度,KLA使用Kernaisk- Sondermann映射方法等专有映射技术来映射纳米级特征。扫描可捕获粗糙度、轮廓、步长和线宽,从而能够对晶圆曲面进行详细分析。机器甚至可以识别晶片上是否有垫子开口或凸点。然后在扫描厨房中以1nm可重复光栅扫描和迭加图像的形式传送获取的图像,从而使工艺工程师能够识别可重复的过程引起的缺陷,并进行参数计量和产量评估。该工具还具有接触、非接触和无损测试功能，包括交流和直流测试、电容电压测量、晶圆电阻测试、隔离表征和直流参数提取。在这些测试中，资产的16位数码摄影和专门的调查软件可以检测晶圆缺陷，预测过程变化对晶圆表面和性能的影响。KLA 7700M Surfscan模型是表征和优化关键流程的理想工具,需要高精度、可重复和可扩展的分析。该设备提供了最先进的功能、准确、可重复的过程以及有洞察力的分析,以推动高效可靠的过程设计。