二手 KLA / TENCOR 7700M Surfscan #293604335 待售

KLA/TENCOR 7700M Surfscan是制造和半导体工业中使用的最先进的晶圆测试和计量设备。该系统提供高分辨率成像、表面分析、横截面和3D分析、非接触式电气表征和迭加测量等无损晶圆测试和测量功能。Surfscan 7700M提供高分辨率成像,允许识别极其精细的结构、薄膜和缺陷,从而有助于分析和验证设备结构、制造过程和设备性能。借助5µm分辨率和集成的500万像素摄像头，该单元可以以高达12 fps的速度获取整个晶片的详细图像。它还利用其多焦平面检测（MFP）功能同时获取多达10个特征。Surfscan 7700M提供晶片表面分析,允许识别和量化各种基材的表面粗糙度、污染、缺陷和晶粒结构。其粒子分析特征提供了绘制任何表面的污染和粒子分布图的能力。它还具有3D地形模式,使深度和特征分析功能能够识别缺陷和关键特征。该机器提供晶片的非接触式电气特性，从而可以表征集成电路或其他设备的电气特性。其传输长度（TL）测量工具测量整个设备的传输线长度,而其输出特性资产测量设备的输出特性。它还提供了IC迭加测量，从而能够确定生产过程中IC器件的迭加对准。KLA 7700M Surfscan是一个先进的晶圆测试和计量模型，提供高分辨率成像、表面分析、横截面和3D分析、非接触式电气表征和迭加测量。凭借其能力，它可以用于协助生产和验证各种晶圆设备和应用。