二手 KLA / TENCOR 7700M Surfscan #293627336 待售

KLA/TENCOR 7700M Surfscan是一种晶圆测试和计量设备,旨在支持高容量、高复杂性和高速生产集成电路的测试。该系统提供全套自动化测量，包括边缘测试仪和标线测试仪、图像检查、电气测试和非光学检查。KLA 7700M Surfscan设计用于跨多个晶片层执行各种测量,精确度更高。该单元具有高速集成的标线测试仪，用于检查晶圆各层上的图样。标线测试仪能够检测小到5nm的缺陷。测试仪所做的精确测量可以提供关键数据来表征设备结构和优化工艺条件。该机器还提供了一个优化的边缘测试仪，用于沿晶圆边缘精确测量。边缘测试仪可以检测表面缺陷，测量诸如边缘轮廓和表面平坦度等参数。除了自动测量外，TENCOR 7700M Surfscan工具还提供图像检查。图像检查模块提供晶圆表面多倍放大的非接触图像，能够检测微粒、划痕和污染。先进的成像算法和自动聚焦进一步提高了资产的准确性。此外,该模型还提供电气测试功能,以评估设备对设备的寿命可靠性、电流泄漏和设备的电气特性。完成后,将提供详细的数据分析,使工程师能够开发出更好的流程。总体而言,7700M Surfscan是一款先进的晶圆测试和计量设备,旨在为复杂和高级集成电路的生产提供领先的设备测试、检查和分析。该系统提供了一套全面的自动化测量、图像检查和分析以及电气测试能力，以帮助确保晶圆生产的准确性和质量。KLA/TENCOR 7700M Surfscan具有强大的设计和高精度的测量,为当今的IC制造需求提供了高效、灵活和可靠的解决方桉。