二手 KLA / TENCOR 7700M Surfscan #293793013 待售

KLA/TENCOR 7700M Surfscan是一种先进的晶圆测试和计量设备,用于半导体制造中的应用缺陷和过程控制。它非常适合7 nm、10 nm和12 nm技术节点等先进的工艺节点,以及多硅、砷化的、和的材料。7700M的核心是其独特而强大的光学测量系统，它利用频闪和标准照明来捕捉任何表面的详细图像，甚至是严重扭曲的表面。它的5倍放大倍率和低测量范围+/-25 μ m能够准确地表征芯片上的突出模式等微小特征,其内置质量度量允许它标记任何不符合预期规格的设备。除了成像之外，7700M还有一个功能强大的步骤和重复计量单元，能够自动映射晶圆上的特征。它利用先进的光学和动态电压对比度成像（DVCI）以无与伦比的精度量化深度、半径和侧壁角度轮廓,甚至跨扭曲曲面。它的分辨率为7纳米，加上先进的2轴级，能够以极高的精度和速度映射整个晶圆。该7700M还采用了多种其他工具来确保质量和过程控制。它具有高速、精确的定位、扫描排序和模式审查功能,使其能够快速检测缺陷并快速识别解决方桉。它的全自动机器重新配置功能还允许用户快速轻松地重新校准,使其非常适合各种复杂的需求。最后,该7700M设计用于超低污染过程,符合最严格的行业标准。其高精度的光学滤光片、空气轴承级和超纯环境使用户能够使用最新技术，而不必担心错误的结果或污染。总而言之,KLA 7700M Surfscan是一种功能极其强大且可靠的晶圆测试和计量工具,其强大的功能集和高性能使其成为高级工艺节点和多样化材料的理想解决方桉。