二手 KLA / TENCOR 7700M Surfscan #59524 待售

KLA/TENCOR 7700M Surfscan是半导体制造商最先进的晶圆测试和计量设备。它利用光学和电气扫描技术在各种基板上进行晶片测试，从单模测试到全晶片平坦度测量。该系统还包括先进的缺陷检测和分类。该单元包括一个大型、自动化的7.7 'x 11.2'级，利用精确的X-Y-Theta对齐机。可编程的Z轴确保静电卡盘和晶片之间的精确、低力接触，而强大的视觉子系统则允许与晶片卡盘实时对准。高分辨率摄像机可识别对齐目标,确保整个晶片的准确性和可重复性。该工具的光学摩尔资产使用可变角度激光线发生器，快速准确地测量表面轮廓、平坦度和其他临界表面特性。它使用高达5˚ x 37.5˚的视场，能够测量深度小于0.1µm至大于7.0µm的平面，精度优于0.3µm。对于晶圆测试，KLA 7700M Surfscan配备了一套先进的电气测试探针，用于基于接触的测试和表征。该探头采用了专利的纳米精密对准技术，能够在多路接触和非接触模式下测试电流泄漏、电阻、电感和电容。最后,TENCOR 7700M Surfscan提供了先进的晶圆缺陷识别、分类和分析.使用SEM和AFM技术检测缺陷,并实时分类缺陷类型。该模型还包括进行复杂缺陷分析所需的软件，包括自动轮廓跟踪和粒子识别。总体而言,7700M Surfscan为半导体制造商提供了一个功能强大但又易于访问的晶圆测试和计量平台。它结合了先进的光学和电气扫描技术、精确的对准能力和缺陷分析,使其成为确保当今高度复杂的半导体系统质量和可靠性的理想工具。